광대역 플라즈모닉 히팅 효율 개선을 위한 실리콘 격자 구조 설계

Abstract

플라즈모닉 가열은 나노 구조의 강한 국소 광열 변환 원리를 이용하지만, 기존의 금(Au) 박막 기반 시스템을 이용할 시 d–sp 전자 전이의 약화로 인해 450 nm 이상의 파장에서 흡수가 급격히 감소한다는 한계를 갖는다. 본 논문에서는 비정질 실리콘(a-Si) 그레이팅 플랫폼 도입을 통해 300–800 nm 파장 영역에서 빛-열 전환 효율 60% 이상을 달성함으로써 기존 금 박막 기반의 플라즈모닉 가열법보다 확장된 광학 스펙 트럼 대역을 달성하고자 한다. 비정질 실리콘은 금속과 달리 높은 흡수 계수와 우수한 열적 안정성을 동시에 지녀, 금 박막 대비 넓은 대역폭 에서 광열 성능을 유지할 수 있다. 본 연구에서는 비정질 실리콘 격자 구조의 기본 및 고차 공명 모드를 유도해 금 박막과 비정질 실리콘 박막대비 가열 스펙트럼을 장파장 대역까지 대폭 확장하였다. 또한 finite difference method (FDM) 시뮬레이션을 통해 수중 환경의 특정 지점에서 시간에 따른 온도 변화를 분석한 결과, 비정질 실리콘 격자 구조가 금 박막보다 더 빠르게 가열되며, 최고 온도 또한 더 높고, 냉각 속도도 더욱 빠른 것으로 나타나 플라즈모닉 가열 응용에 최적의 구조임을 확인했다. 이로써 본 연구는 플라즈모닉 가열 소자의 영역을 금속에서 반도체 기반의 구조체로 확장하여 생체 센싱, 국소 마이크로유체 구동, 비용 효율적인 광열 치료 등 가시광 대역에서 장파장 대역의 플라즈모닉 가열을 활용한 다양한 응용 분야에 새로운 가능성을 열어줄 것으로 기대한다.