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1 Conference Paper Precise motion control of XY stage system using ultrasonic motor in a vacuum environment Lee, Sun-Kyu ; 이동진 ; 김유영 2016-06-07
2 Conference Paper Ultraprecision control performance of high power ultrasonic linear motor Lee, Sun-Kyu ; 이동진 ; 김유영 2015-08-14
3 Conference Paper 고진공 환경에서 하이브리드 타입 초음파 리니어 모터의 나노미터 모션제어 이선규 ; 김완수 ; 이동진 2010-05-26
4 Conference Paper 진공환경에서 하이브리드 초음파 리니어 모터의 진동모드 매칭에 관한 연구 김완수 ; 이동진 ; 이선규 2010-04-22
5 Conference Paper 초음파 리니어 모터를 이용한 2차원 연속 모션 제어 스테이지 기술 개발 이동진 ; 변창호 ; 이선규 2012-11-08

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