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GIST Repository College of Engineering Department of Environment and Energy Engineering 2. Conference Papers

High resolution FTIR을 이용한 NF3 정량 측정 및 분석 실험

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Author(s)
민경은
Type
Conference Paper
Citation
한국대기환경학회 2006년 추계학술대회
Issued Date
2006-10-26
Publisher
한국대기환경학회
Conference Place
KO
URI
https://scholar.gist.ac.kr/handle/local/27250
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