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GIST Repository College of Engineering Department of Mechanical and Robotics Engineering 2. Conference Papers

Command compensation filter를 이용한 scanning prove microscopy용 PZT구동 2축 나노스캐너의 진동제어

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Author(s)
박기환
Type
Conference Paper
Citation
한국정밀공학회
Issued Date
2009-06-04
Publisher
한국정밀공학회
Conference Place
KO
제주
URI
https://scholar.gist.ac.kr/handle/local/25648
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