OAK

회절 격자 간섭계를 활용한 선형 이송계의 6자유도 운동오차 측정

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Author(s)
이선규
Type
Conference Paper
Citation
한국 정밀 공학회 2011 추계 학술대회
Issued Date
2011-10-26
Publisher
한국 정밀 공학회
Conference Place
KO
URI
https://scholar.gist.ac.kr/handle/local/24104
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