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GIST Repository College of Engineering Department of Mechanical and Robotics Engineering 2. Conference Papers

DRIE 공정을 위한 etch maskmask 로서 PDMS 연구

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Author(s)
Tae Yong Kim; Junil Kim; Yang, Sung
Type
Conference Paper
Citation
KMEMS 2012
Issued Date
2012-04-06
Publisher
마이크로나노시스템학회
Conference Place
KO
URI
https://scholar.gist.ac.kr/handle/local/23879
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