막 여과 과정에서 발생하는 오염층의 특성 분석을 위한 전역광학단층영상 획득 시스템 개발
- Author(s)
- 윤태일; 이동휘; 이윤호; 이병하
- Type
- Conference Paper
- Citation
- Optics and Photonics Congress 2019
- Issued Date
- 2019-07-16
- Abstract
- 여과막 위에 형성된 오염층은 막 여과 공정 효율에 상당한 저하를 초래한다. 최근 막 오염층 구조 변화를 통한 여과효율 증가에 대한 연구가 보고되고 있지만 오염층 구조에 대한 주기적인 분석이 어려워 메커니즘에 대한 이해가 많이 부족하다. 따라서 고분해능을 가지는 전역광학단층영상 획득 시스템을 구축해 막 오염층의 형태학적 세부 구조에 대한 3차원 이미지를 획득하고 그 특성에 대해 분석하고자 한다.
- Publisher
- 사단법인 한국광학회
- Conference Place
- KO
- URI
- https://scholar.gist.ac.kr/handle/local/22968
- 공개 및 라이선스
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- 파일 목록
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