https://scholar.gist.ac.kr/handle/local/8022 2025-12-08T04:59:17Z https://scholar.gist.ac.kr/handle/local/17549 Title: 펨토초 펄스와 광결정 광섬유를 이용한 초 연속스펙트럼의 발생 Author(s): 최형규; 김소은; 기철식; 성재희; 유태준; 고도경; 이종민 Abstract: 광결정 광섬유에서 생성되는 초 연속스펙트럼의 특성을 일반화된 비선형 슈뢰딩거 방정식과 split step 퓨리에 방법을 이용하여 전산모사 하였다. 그 결과를 바탕으로 200 fs 펄스폭을 갖는 Ti:sapphire 레이저와 광결정 광섬유를 이용하여 650 ㎚부터 900 ㎚에 이르는 파장영역에서 ±4 ㏈ 이하의 평탄도를 가지는 초 연속스펙트럼을 실험적으로 생성하였다. 2007-09-30T15:00:00Z https://scholar.gist.ac.kr/handle/local/17134 Title: 펨토초 레이저의 이송속도에 따른 Invar 합금의 어블레이션 특성 Author(s): 정일영; 강경호; 김재도; 손익부; 노영철; 이종민 Abstract: Femto-second laser ablation with the various feed velocities of the Invar alloy and the micro surface milling for the processing condition were studied. We used a regenerative amplified Ti:sapphire laser with a 1kHz repetition rate, 184fs pulse duration time and 785nm wavelength. Femto-second laser pulse was irradiated on the Invar alloy with the air blowing at the condition of various laser peak powers and feed velocities. An ablation characteristic according to feed velocity of the Invar alloy was appeared as the non-linear type at different zone of energy fluence. The micro surface milling of the Invar alloy using a mapping method was investigated. The optimal condition of micro surface milling was laser peak power of 22.8mW, feed velocity of 1mm/s, beam gap of 1㎛. With the optimal processing condition, the fine rectangular shape without burr and thermal damage was achieved. Using the femto-second laser system, it demonstrates excellent tool for micro surface milling of the Invar alloy without heat effects and poor edge. 2009-02-28T15:00:00Z https://scholar.gist.ac.kr/handle/local/17052 Title: 펨토초 레이저를 이용한 미세 PR 패터닝 Author(s): 손익부; 고명진; 김영섭; 노영철 Abstract: Development of maskless lithography techniques can provide a potential solution for the photomask cost issue. Furthermore, it could open a market for small scale manufacturing applications. Since femtosecond lasers have been found suitable for processing of a wide range of materials with sub-micrometer resolution, it is attractive to use this technique for maskless lithography. As a femtosecond laser has recently been developed, both of high power and high photon density are easily obtained. The high photon density results in photopolymerization of photoresist whose absorption spectrum is shorter than that of the femtosecond laser. The maskless lithography using the two-photon absorption (TPA) makes micro structures. In this paper, we present a femtosecond laser direct write lithography for submicron PR patterning, which show great potential for future application. 2009-05-31T15:00:00Z https://scholar.gist.ac.kr/handle/local/17913 Title: 펨토초 레이저를 이용한 금속 나노패턴 형성 연구 Author(s): 최성철; 이영락; 노영철; 이종민; 고도경; 이정훈; 김강윤; 김창종; 이웅상; 허명구 Abstract: 펨토초 레이저 펄스를 이용하여 Slide glass 위에 코팅된 Al 박막표면에 나노패턴 구조를 생성하였다. 생성된 나노패턴 구조의 공간적 주기는 레이저 강도와 펄스 수에 의존함을 확인하였고, 레이저 강도와 펄스 수를 미세하게 조절함으로써 Al 샘플 표면에 균일한 나노패턴을 형성 시킬 수 있다. 이와 같은 현상은 레이저 입사빔과 샘플 표면에서 산란되는 빛의 광학적 간섭에서 야기 된다. 또한, Al 박막표면 위에 형성된 산화막이 짧은 주기의 나노패턴을 형성하는데 중요한 역할을 수행하는 것을 확인하였다. 2006-03-31T15:00:00Z